温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在本发明的第一个方式中，一个基片定位系统包括在支撑基片的一个台的周围间隔开设置的多个推块；每个推块适于设置一个回缩位置以使所述基片被装载在所述台上或从其上卸载；向支撑在所述台上的所述基片的一个边缘延伸；接触所述基片的所述边缘；并且持续延伸以...
该专利属于应用材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。