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文档序号:3207110
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一种半导体结构,包含具有压缩应力的第一半导体材料层,以及具有伸张应力的第二半导体材料层。利用第一半导体材料层与第二半导体材料层的搭配,可用来调节半导体元件中的通道应力,从而形成受应变的通道。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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