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绝缘栅型半导体器件制造技术
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文档序号:3207043
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本发明提供一种绝缘栅型半导体器件,其最主要特征在于在功率MOSFET中,可以高速并且抑制开关噪声。例如,在与p基极层(12a)和n↑[+]源极层(13a)分别相邻的n↑[-]漂移层(11)的表面部分上,成方格状地形成沟槽型结构的栅极电极(2...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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