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热处理装置的洗净处理包括将反应室内加热到３００℃的加热工序、和去除附着在热处理装置内部的氮化硅的洗净工序。在洗净工序中，将含有氟气和氯气及氮气的清洗气体供给加热到３００℃的反应管内，去除氮化硅而洗净热处理装置的内部。...
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