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通过蚀刻，形成穿过由多孔硅氧化膜构成的第二绝缘层（１３）和第三绝缘层（１４）而成为连接孔（２１）的一部分的孔。另外，采用第二阻挡膜（２０），通过蚀刻，在第三绝缘层（１４）上形成第二槽（２３）。另外，在连接孔（２１）和第二槽（２３）的侧壁上，...
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