温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种涂布机，通过用冲洗液进行边缘冲洗，除去在晶片上形成的涂膜的在晶片侧面上形成的边缘残留物，其特征在于，　　　　具有混合对涂膜具有不同溶解速度的多种溶剂后，进行边缘冲洗的装置。...
该专利属于尔必达存储器株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过尔必达存储器株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。