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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:3206909
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提供一种导通电阻低、具有高速开关特性的半导体器件。该半导体器件由如下部件构成:n-型外延层12;形成于n-型外延层12上的p型基极区域13;形成于p型基极区域13上的n+型源极区域14;沟道15,从n+型源极区域14的表面横穿该n+型源极区...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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