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提供一种可在台上稳定地载放取样并可使解析视场移动的故障解析技术。在台１１上经解析用板２载放取样１。在解析用板２的主面２ｂ设有凹部２ｃ，在该凹部２ｃ的底面２ｃａ设有作为固态浸没透镜起作用的凸部２ｄ。而且，凸部２ｄ未突出出解析用板２的主面２ｂ。...
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