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一种应用于罩幕式只读存储器编码布植的微影工艺，其首先提供一基底，其中基底上已形成有呈矩阵排列的复数个存储单元。接着，在基底上形成一光阻层，覆盖住存储单元。之后，在光阻层的上方设置一光罩，其中光罩上具有复数个编码开口与复数个拟开口，而且编码开...
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