下载具有其内形成有空隙区的外延图形的集成电路器件及其形成方法的技术资料

文档序号:3206706

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一种集成电路器件包括衬底。外延图形在衬底上,且其中形成有一对杂质扩散区和布置在一对杂质扩散区和衬底之间的一对空隙区。一对杂质扩散区的各个至少部分地重叠一对空隙区的各个。栅电极在一对杂质扩散区的各个之间的外延图形上。...
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