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一种防止旁瓣被刻蚀转移到衬底的方法，其特征在于在接触孔光刻后、刻蚀前增加一步烘烤，并通过调整光刻胶烘烤温度和时间来控制光刻胶流动的程度，以填平旁瓣而不影响正常孔。...
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