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一种薄膜太阳能电池衬底制备工艺制造技术
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文档序号:3206500
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一种薄膜太阳能电池衬底制备工艺,其特征在于:将Si和SiC粉混合,通过烧结,使硅熔融将SiC粘合成型,制成表面平整致密的薄片,在上面可以沉积高质量的多晶硅薄膜;其具体工艺过程为: 将市售的SiC和Si的粉料按1∶1的摩尔比混合,或将C...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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