下载动态随机存取存储器的结构及其制作方法的技术资料

文档序号:3206415

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一种动态随机存取存储器(DRAM)的制法,包括下列步骤:    提供一基底,包含一数组(array)区与一周边电路(periphery)区;    形成复数个闸极结构于该数组区与该周边电路区中;    顺应性形成一阻障层于该基底与该闸极结构...
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