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镶嵌结构的位元线接触窗插塞的制作方法技术
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文档序号:3206413
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一种镶嵌结构的位元线接触窗插塞的制作方法,包括下列步骤: 提供一半导体基底,该基底表面上包含有一第一闸极导电结构以及一第二闸极导电结构,而该基底内包含有一源/汲区域,其中该源/汲区域位于该第一闸极导电结构以及该第二闸极导电结构的空隙内...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。
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