下载插塞的形成方法的技术资料

文档序号:3206200

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一种插塞的形成方法,包括下列步骤:    提供一半导体基底,于该半导体基底上形成一具有接触窗的介电层,该介电层上形成有一多晶硅层;    提供一含氧化剂溶液;    使该多晶硅层顶部表面接触该含氧化剂溶液以形成一化学氧化层;及    于该化...
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