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插塞的形成方法技术
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文档序号:3206200
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一种插塞的形成方法,包括下列步骤: 提供一半导体基底,于该半导体基底上形成一具有接触窗的介电层,该介电层上形成有一多晶硅层; 提供一含氧化剂溶液; 使该多晶硅层顶部表面接触该含氧化剂溶液以形成一化学氧化层;及 于该化...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。
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