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磁场形成机构２１的各个磁体块２２，如图３（ａ）所示，从各个磁体块２２的磁极朝向真空室１侧的状态开始，如图３（ｂ）、图３（ｃ）所示，相邻的磁体块２２同步反向转动，所以相隔一个的磁体块２２就变成同向转动，可以控制在真空室１内形成的半导体晶圆片Ｗ...
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