温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种形成叠合标记的方法，其特征是，该方法包括：　　　　在一基底上形成一材料层；　　　　图案化该材料层，以形成一外部标记；　　　　在该材料层的表面上形成一第一膜层；　　　　进行一平坦化步骤，以移除部分该第一膜层；　　　　在该材料层上形成一第二...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。