下载隔离具有部分垂直沟道存储单元的有源区的方法的技术资料

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一种隔离具有部分垂直信道记忆单元的主动区的方法,包括下列步骤:    提供一半导体基底,该半导体基底包含有二深沟槽,该等深沟槽内分别形成有一深沟槽电容,且该等深沟槽电容低于该半导体基底表面,使该等深沟槽间成为一突出柱状的主动区;    对露...
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