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闪存的制造方法技术
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文档序号:3205616
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一种闪存的制造方法,包括下列步骤: 于一基底上依序形成一穿隧介电层、一第一导体层与一掩模层; 进行一第一图案化制造工艺,定义该穿遂介电层、该掩模层与该第一导体层,以于该基底上形成一条状物; 于该条状物之间的该基底中形成一埋...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。
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