下载闪存的制造方法的技术资料

文档序号:3205615

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一种闪存的制造方法,包括下列步骤:    于一基底上依序形成一穿隧介电层、一导体层与一掩模层;    进行一第一图案化制造工艺,定义该穿隧介电层、该掩模层与该导体层,以于该基底上形成一条状物;    进行一离子植入制造工艺,于该条状物之间的...
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