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一种用于在目标物上写入图案的无掩模光刻系统。该系统可包括照明系统，目标物，空间光调制器（ＳＬＭ），和控制器。在目标物接收光之前，ＳＬＭ可使来自照明系统的光形成图案。ＳＬＭ可包括前组ＳＬＭ和后组ＳＬＭ。前和后组中的ＳＬＭ根据目标物的扫描方向而...
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