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一种将基板送入送出对基板进行规定的处理的处理单元的基板输送单元，在预先取得基板对基板保持部的交接位置的数据的情况下，以高精度而且在短时间内进行基板的对位。例如在使基板保持部旋转１８０度时的前后，分别拍摄由基板输送单元交给了基板保持部的对位用...
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