下载设有电容的半导体装置及其制造方法的技术资料

文档序号:3205376

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通常,在被层间绝缘膜10、成为电容上部电极的一部分的导电性膜(11)与电容介质膜(12)支撑的状态下,对用以构成电容下部电极的导电性膜(13)进行处理。因此,在半导体装置的制造工序中,不使成为电容下部电极的导电性膜(13)完全露出。结果,防...
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