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一种利用激光束的加工设备，该加工设备能够沿着切割线有效地形成所需厚度的损蚀区域。来自激光束发生装置的激光束聚焦为不是一个单个的聚焦光斑，而是聚焦为在光轴方向上移置的至少两个聚焦光斑。...
该专利属于株式会社迪斯科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪斯科授权不得商用。

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