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通过ＬＡＮ９将ＣＶＤ设备３１、扩散设备３３等多台处理设备３；测定设备５；以及管理用的控制计算机７进行连接。各处理设备３存储用于进行处理的控制信息。控制计算机７也存储各处理设备３的控制信息。控制计算机７使各处理设备３实施校正用的处理过程。控制...
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