处理系统技术方案

通过ＬＡＮ９将ＣＶＤ设备３１、扩散设备３３等多台处理设备３；测定设备５；以及管理用的控制计算机７进行连接。各处理设备３存储用于进行处理的控制信息。控制计算机７也存储各处理设备３的控制信息。控制计算机７使各处理设备３实施校正用的处理过程。控制计算机７从测定设备５接受校正对象的处理设备３的处理结果，并根据处理结果校正自己存储的控制信息。在校正处理完成后控制计算机７将校正了的控制信息发送至处理设备３。处理设备３保存校正了的控制信息，在下次处理中使用。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对半导体晶片等被处理体进行处理的处理设备的控制系统和控制方法，特别是涉及可以对多台处理设备进行统一管理的控制系统和控制方法。
技术介绍
为了在半导体晶片表面上成膜和进行掺杂剂扩散等各种处理，使用了半导体处理设备。现有半导体处理设备的主流是单机型。在设置多台单机型处理设备的工厂中，根据存储在各设备的控制器中的控制程序和控制数据对各台设备单独进行控制。另外，各台设备的维修也是单独进行的。已知也有通过网络将多台处理设备与控制用计算机连接，利用该计算机来控制多台设备。但是，控制用计算机只是向各处理设备发出指令。因此，需要重复地对各台处理设备设置具有高度的运算处理能力的控制器，因而设备成本增高。另外，半导体制造设备需要定期地进行控制器等的维修(特别是校正)。但是，由于需要对各台设备单独进行维修，所以要花费较多的工夫。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述实际情况而进行的，其目的在于高效率地控制多台处理设备。本专利技术的第2个目的在于通过减少在各处理设备中设置的控制装置的负担来简化控制装置的结构，由此降低包含多台处理设备的处理系统的总设备成本和运转成本。为了达到上述目的，本专利技术借本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种处理系统，其特征在于：具备：多台处理设备，各处理设备分别具有对被处理体进行处理的处理装置、存储用于控制上述处理装置的控制信息的存储装置、根据上述控制信息对上述处理装置进行控制的控制装置；以及计算机，它是独立于上述 多台处理设备而设置的，被构成为可以经通信媒体在它与上述各处理设备之间进行包含上述控制信息的信息的通信的计算机，并具有根据输入到该计算机中的、上述处理设备对被处理体的处理结果对用于控制该处理设备的上述控制信息进行校正的校正装置。

【技术特征摘要】
JP 2001-8-28 258024/20011.一种处理系统，其特征在于具备多台处理设备，各处理设备分别具有对被处理体进行处理的处理装置、存储用于控制上述处理装置的控制信息的存储装置、根据上述控制信息对上述处理装置进行控制的控制装置；以及计算机，它是独立于上述多台处理设备而设置的，被构成为可以经通信媒体在它与上述各处理设备之间进行包含上述控制信息的信息的通信的计算机，并具有根据输入到该计算机中的、上述处理设备对被处理体的处理结果对用于控制该处理设备的上述控制信息进行校正的校正装置。2.如权利要求1所述的处理系统，其特征在于上述各处理设备的控制装置被构成为可以经上述通信媒体接受被上述计算机的校正装置校正了的控制信息，并将其存储到上述存储装置中，按照校正了的控制信息进行处理。3.如权利要求1所述的处理系统，其特征在于上述计算机具有存储与存储在各处理设备的存储装置中的上述控制信息对应的控制信息的存储装置，上述计算机被构成为在对用于上述多台处理设备中的某一台处理设备的控制信息进行校正的场合，执行从上述计算机的存储装置中取出存储在上述计算机的存储装置中的、用于上述的一台处理设备的控制信息的步骤；根据上述的一台处理设备对被处理体的处理结果，利用上述校正装置来校正该取出了的控制信息的步骤；将该校正了控制信息存储到上述计算机的存储装置中的步骤；以及经上述通信媒体将上述校正了的控制信息发送至上述的一台处理设备中，并存储在上述处理设备的存储装置中的步骤。4.如权利要求1所述的处理系统，其特征在于还具备对上述处理设备的处理结果进行测定的测定设备，上述计算机被构成为经上述通信媒体在它与上述测定设备之间进行信息通信，上述处理结果经上述通信媒体被输入至上述计算机。5.如权利要求1所述的处理系统，其特征在于上述各处理设备的上述处理装置具有将被处理体收...

【专利技术属性】
技术研发人员：小原浅己，竹永裕一，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]