下载半导体装置的技术资料

文档序号:3204847

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本发明提供一种于其邻近区域具低介电常数材质的半导体装置。包括:一装置,包括一栅极,于该基底上;一导电插栓,邻近该栅极且与该装置产生电性连接;以及一低介电常数材质,设置于该栅极与该导电插栓之间,以降低其寄生电容。由此,可制作出高密度且不致降低...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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