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本发明的等离子体处理装置具有：带电介质壁的处理室；和设在所述处理室内，具有载置被处理体的载置面的载置台。经所述电介质壁，在所述处理室内激起感应等离子体。设有可装卸自由地覆盖所述载置台的至少载置面的电介质部件。...
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