下载多位元堆叠式非易失性存储器及其制造方法的技术资料

文档序号:3204786

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一种形成堆叠式非易失性存储器的方法,包括:    提供一半导体衬底;    形成一图案化含砷介电层于该半导体衬底上,其中该图案化含砷介电层定义一第一开口,且该第一开口曝露出该半导体衬底的一部分及该图案化含砷介电层的一侧壁;    形成一介电...
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