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非挥发性内存及其制造方法技术
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文档序号:3204759
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一种非挥发性内存及其制造方法,其中:一选择闸(140)形成于一半导体上。一介电层(810,1010,1030)形成于该选择闸上。一浮置闸层(160)形成于该选择闸上。自该选择闸的至少一部分上移除该浮置闸。一介电层(1510)形成于该浮置闸层...
该专利属于台湾茂矽电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾茂矽电子股份有限公司授权不得商用。
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