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一种缩小半导体组件的单元间距的方法，包括：　　　　提供具有复数个图案的一基板，且这些特征图案包括一第一材质；　　　　于该基板及这些图案上形成一层，且该层包括一第二材质；　　　　移除在这些图案上表面上的该层，使这些图案暴露出来；以及　　　　移...
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