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一种半导体用的扫瞄工具的校正方法，其特征在于其包括以下步骤：　　　　提供具有一标准图案的一晶圆，其中该标准图案的侧壁是呈斜坡状；以及　　　　利用一扫瞄工具扫瞄该晶圆上的该标准图案，以取得一讯号，该讯号是表现出该标准图案的侧壁处的位置，利用该...
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