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在一个气体管路（１３）上设置流体控制器（１３ｇ），而且在气体管路（１３）的流量控制器（１３ｇ）的上游设置压力控制系统区域（１４）。设置有从气体管路（１３）的上游沿着与气体管路（１３）垂直的方向延伸的延长部（１５），使不同种类的处理气体（Ａ）...
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