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本发明的目的在于提供一种晶片探测器，它重量轻、热响应动力学极佳且在受到探测卡的挤压时没有翘曲，因而能有效地保护它防止对硅晶片的损坏和测量误差。本发明涉及一种陶瓷基底的表面上形成有导体层的晶片探测器。...
该专利属于IBIDEN股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过IBIDEN股份有限公司授权不得商用。

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