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形成PN接面的方法及单次可编程只读存储器的结构与制程技术
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下载形成PN接面的方法及单次可编程只读存储器的结构与制程的技术资料
文档序号:3204404
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一种形成PN接面的方法,包括: 于一基底上形成一堆栈结构,该堆栈结构包括由下至上的一第一掺杂层、一介电层与一晶核层; 于该基底上形成具有一开口的一绝缘层,该开口暴露出部分的该晶核层; 于该开口中形成一第二掺杂层,该第二掺杂...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。
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