下载静电放电保护装置的晶体管制造方法的技术资料

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一种静电放电保护装置的晶体管制造方法,其特征在于,包括下列步骤:    提供一半导体基底,其上可形成有隔离结构、掺杂井区、多晶硅栅极结构、轻离子掺杂区及作为源/漏极的重离子掺杂区等基本元件;    在该半导体基底上形成一图案化光阻层,以此图...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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