下载在缺陷管理系统中使用的方法的技术资料

文档序号:3204341

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一种缺陷管理系统的方法,其特征在于,该方法包含:    进行机台匹配检验于一缺陷管理系统中,该进行步骤至少包含扫描一生产晶片;    检视一使用层级于该缺陷管理系统中,该缺陷管理系统根据该使用层级,分配该缺陷管理系统的资源;    编辑一分...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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