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整合闪存与高电压组件的制造方法技术
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下载整合闪存与高电压组件的制造方法的技术资料
文档序号:3204284
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一种整合闪存与高电压组件的制造方法,其特征在于,该制造方法至少包含: 提供一基材,该基材至少包含一高电压组件区与至少一闪存区; 形成一浮置闸极层于该基材上; 定义出至少一闸极闪存的位置于该闪存区中; 形成一闸极介电层...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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