下载处理装置、气体放电抑制部件的技术资料

文档序号:3204171

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提供了一种防止传热气体的放电,且可高精度进行被处理体的温度控制的处理装置。在向相对设置在密封处理容器(102)内的一对电极中的下部电极110施加高频功率,并将导入到电极间的处理气体等离子体化后,对被处理体表面进行规定处理的等离子体蚀刻装置(...
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