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本发明提供了一种包括微电子管芯（１４４、１４４’）的微电子器件以及用于制造该微电子器件的方法，该微电子管芯具有有效表面（１０４）、后表面（１０６）和至少一个侧面。微电子管芯的侧面包括沟槽侧壁（１２４、１２４’）、凸缘（１４２、１４２’）以及...
该专利属于英特尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔公司授权不得商用。

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