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一种提供用以形成一个半导体组件的方法，包含提供一个基底具有一层光阻层形成于其上，再在至少一部分的光阻层上提供一个光罩，此光罩具有一个主图案以及一个辅助图案。这个方法更包含转移主图案到光阻层，以及在基底上形成一个图案，如此一来可缩减因光学邻近...
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