下载用于半导体工艺中高级工艺控制的动态度量方案和取样方案的技术资料

文档序号:3204012

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

提供用于动态调节与要测量的晶片(或其它装置)相关的取样方案的系统、方法和介质。取样方案提供管芯内特殊测量点的信息,管芯是晶片上的一部分并最终在加工后成为单个的芯片。在管芯内有候补用于测量的特殊点。可以恢复存储的管芯布局图并将其翻译成确定用于...
该专利属于应用材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。