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制造半导体器件的方法技术
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文档序号:3204003
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为在具有密封树脂的布线衬底基体上模制半导体芯片等,将布线衬底基体置于下模的下模型腔台上,此后使上模下降,由此上模的型腔的外部周边部分邻接布线衬底基体的主表面的外部周边部分,使衬底基体充分变形到防止树脂泄漏的程度,此后提供在上模上的挡销下压下...
该专利属于株式会社瑞萨科技所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社瑞萨科技授权不得商用。
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