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将一个或多个程控构图装置通过高度调整结构装配到装配板上，所述高度调整结构能使构图装置的有源表面的平面度得到控制。所述高度调整结构可以包括压电制动器或螺杆阵列。或者是，构图装置的背侧被打磨成光学平坦面，并通过晶体粘结而结合到刚性装配体的光学平...该专利属于ASML荷兰有限公司;ASML控股有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司;ASML控股有限公司授权不得商用。