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半导体晶片的加工方法技术
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文档序号:3203769
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一种用于半导体晶片的加工方法,在研磨半导体晶片背面减薄形成以后,没有给半导体晶片造成损伤,并给背面上粘贴粘接薄膜。对倒角后的外周侧部15进行切削等形成大致垂直面之后,研磨背面制成规定厚度,然后通过给背面粘贴并加热粘接薄膜,使半导体晶片1和粘...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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