下载具变换粒径的硅结构的半导体组件及其形成方法的技术资料

文档序号:3203544

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一种具变换粒径的硅层的结构,其特征是,包括:    一第一硅层,至少包括一第一与一第二表面,以及更包括从邻接该第一表面的一非晶硅区域转变至邻接该第二表面的一多晶硅区域的一结构;    一第二层,邻接该第一硅层的该第一表面;以及    一第三...
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