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具变换粒径的硅结构的半导体组件及其形成方法技术
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文档序号:3203544
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一种具变换粒径的硅层的结构,其特征是,包括: 一第一硅层,至少包括一第一与一第二表面,以及更包括从邻接该第一表面的一非晶硅区域转变至邻接该第二表面的一多晶硅区域的一结构; 一第二层,邻接该第一硅层的该第一表面;以及 一第三...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。
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