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一种半导体装置,包括:一基底、一第一外延层、一第二外延层、一第三外延层、一第一沟槽与一第二沟槽。该第一外延层位于该基底上且与该基底晶格不相称。该第二外延层位于该第一外延层上且与该第一外延层晶格不相称。该第三外延层位于该第二外延层上且与该第二...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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一种半导体装置,包括:一基底、一第一外延层、一第二外延层、一第三外延层、一第一沟槽与一第二沟槽。该第一外延层位于该基底上且与该基底晶格不相称。该第二外延层位于该第一外延层上且与该第一外延层晶格不相称。该第三外延层位于该第二外延层上且与该第二...