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一种非临界层的临界尺寸的覆盖标记，用于监测非临界层的临界尺寸，其特征在于，其包含：　　　　四条彼此分离的第一条状物，该四条第一条状物定义一矩形，其中每一该第一条状物对应并平行该矩形的每一边长；及　　　　四条彼此分离的第二条状物，该四条第二条...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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