下载半导体的清洗方法的技术资料

文档序号:3203232

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一种半导体的清洗方法,该清洗方法系适用于一闪存之一闸间介电层形成之后,该清洗方法包括:    提供一半导体晶圆;    于该半导体晶圆上形成一第一氧化硅层;    于该第一氧化硅层上形成一浮置闸极层;    于该浮置闸极层上形成一第二氧化硅...
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