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半导体的清洗方法技术
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文档序号:3203232
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一种半导体的清洗方法,该清洗方法系适用于一闪存之一闸间介电层形成之后,该清洗方法包括: 提供一半导体晶圆; 于该半导体晶圆上形成一第一氧化硅层; 于该第一氧化硅层上形成一浮置闸极层; 于该浮置闸极层上形成一第二氧化硅...
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