下载浅沟渠隔离结构及其沟渠的制造方法的技术资料

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一种浅沟渠隔离结构及其制造方法,此浅沟渠隔离结构是同时具有圆角形顶角与非圆角形预角。浅沟渠隔离结构的制造方法,包括硬罩幕上面形成一图案形光阻,以使此部分硬罩幕曝露在存储单元的一部分之上以及外围区的一部分之上,之后,删除在外围区中曝露出的硬罩...
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